書誌事項
- タイトル別名
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- 111 Velocity Distribution of Ions Incident on a Wafer in Two-Frequency Capacitively-Coupled Plasma
収録刊行物
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- 流体工学部門講演会講演論文集
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流体工学部門講演会講演論文集 2001 (0), 15-, 2001
一般社団法人 日本機械学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680861060480
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- NII論文ID
- 110002509289
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- ISSN
- 24242896
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- Crossref
- CiNii Articles