CVD薄膜形成技術

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タイトル別名
  • An Introduction to Chemical Vapor Deposition
  • CVD ハクマク ケイセイ ギジュツ

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抄録

An outline of CVD (Chemical Vapor Deposition) technology is described. The CVD technology is widely used in semiconductor manufacturing process. The classification, features and applications of CVD are summarized.

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