書誌事項
- タイトル別名
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- Evaluation of the Penetration Depth of Total-reflection X-rays.
- ゼン ハンシャ Xセン シンニュウ フカサ ノ ヒョウカ
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抄録
We have studied an experimental method to evaluate the penetration depth of total-reflection x-rays, which is an important factor for total-reflection x-ray analysis. The penetration depth can be evaluated by measuring the takeoff-angle dependence of x-ray fluorescence. We have developed a new glancing-incidence and glancing-takeoff x-ray analytical apparatus. Using this apparatus, we evaluated the penetration depth of Mo Kα into a GaAs wafer. The experimental results agreed well with the theoretical penetration depth.
収録刊行物
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- 表面科学
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表面科学 18 (7), 424-428, 1997
公益社団法人 日本表面科学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282681432382080
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- NII論文ID
- 10002264730
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- NII書誌ID
- AN00334149
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- ISSN
- 18814743
- 03885321
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- NDL書誌ID
- 4246959
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可