III族窒化物/SiCヘテロ界面を用いたワイドギャップ半導体デバイス

  • 須田 淳
    京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
  • 三宅 裕樹
    京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
  • 木本 恒暢
    京都大学大学院工学研究科電子工学専攻 京都大学光・電子理工学教育研究センター

書誌事項

タイトル別名
  • Wide-bandgap Semiconductor Devices using Group-III Nitride/SiC Heterointerface
  • 3族窒化物/SiCヘテロ界面を用いたワイドギャップ半導体デバイス
  • 3ゾク チッカブツ SiC ヘテロ カイメン オ モチイタ ワイドギャップ ハンドウタイ デバイス

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抄録

This paper describes group-III nitride (III-N)/SiC heterointerface and its device applications. Heteroepitaxial growth of III-N on SiC opens new opportunity of SiC-based heterojunction devices such as heterojunction bipolar transistors (HBTs). The authors developed growth methods to grow high-quality III-N on SiC by molecular-beam epitaxy. Fabricated GaN/SiC heterojunction exhibited type-II band-lineup. By using AlN/GaN short period superlattice as a quasi AlGaN alloy, the authors successfully controlled the band-lineup to be type-I and demonstrated common-emitter-mode operation of III-N/SiC HBTs.

収録刊行物

  • 表面科学

    表面科学 31 (12), 651-656, 2010

    公益社団法人 日本表面科学会

参考文献 (19)*注記

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