超高精度微細加工への挑戦　　制御と計測　　ナノマシンにおける高精度切削加工　　新工作機械の提案

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書誌事項

タイトル別名
  • Cutting on a Nano Machine
  • 新工作機械の提案

収録刊行物

  • 計測と制御

    計測と制御 41 (11), 794-798, 2002

    公益社団法人 計測自動制御学会

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282681494113920
  • NII論文ID
    130003697660
  • DOI
    10.11499/sicejl1962.41.794
  • ISSN
    18838170
    04534662
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles

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