超高精度微細加工への挑戦　　制御と計測　　ナノマシンにおける高精度切削加工　　新工作機械の提案

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• CRID

  1390282681494113920

• NII論文ID

  130003697660

• DOI

  10.11499/sicejl1962.41.794

• ISSN

  18838170

  04534662

• 本文言語コード

  ja

• データソース種別

  • JaLC
  • CiNii Articles