近接場光を利用した新しい光励起系によるナノ材料加工技術

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  • 八井 崇
    東京大学大学院工学系研究科電子工学専攻
  • 大津 元一
    東京大学大学院工学系研究科電子工学専攻 東京大学大学院工学系研究科ナノフォトニクス研究センター

書誌事項

タイトル別名
  • Nano-Scale Fabrication Using Optical-Near-Field
  • キンセツバ コウ オ リヨウ シタ アタラシイ ヒカリ レイキ ケイ ニ ヨル ナノ ザイリョウ カコウ ギジュツ

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説明

本稿では近接場光の本質であるドレスト光子の原理について概説した後，このドレスト光子を用いたナノ加工について解説する．そして，このドレスト光子を利用した加工技術であるナノフォトニクスを用いることで，伝搬光では原理的に不可能な形態の微細光加工の実際について列挙する．<br>

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