圧電薄膜の追加形成による弾性表面波デバイスの周波数特性の変化

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タイトル別名
  • Modification of frequency properties of surface acoustic devices by the additional formation of piezoelectric thin film

抄録

<p>弾性表面波(SAW)デバイスは圧電マイクロデバイスの一種である。そのデバイス特性を変えたい場合、通常はSAWを発生させるくし歯電極のパターンなどの設計変更が行われる。一方、その特性は、デバイス基板材料により異なるSAWの伝播速度にも影響される。そこで本研究では、圧電材である窒化アルミニウム薄膜の、デバイス基板上への追加形成のみにより、SAWデバイスの周波数特性を変化させることを試みた。</p>

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282752322594304
  • NII論文ID
    130007702581
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2019s.0_488
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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