電気化学的手法による機能マイクロ・ナノ構造体形成プロセス

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タイトル別名
  • Electrochemical fabrication processes for functional micro and nano scale structures
  • デンキ カガクテキ シュホウ ニ ヨル キノウ マイクロ ・ ナノ コウゾウタイ ケイセイ プロセス

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抄録

<p>電解析出法や陽極酸化法などの電気化学プロセスによる微細構造体形成プロセスについて，最近の検討事例を紹介した．微細パターン基板に電解析出プロセスを適用することにより，十数nmサイズの強磁性ナノドットアレイの形成が可能である．また，Si単結晶ウェーハに光照射を援用した陽極酸化プロセスを適用することにより，位置選択的に所望のサイズの微細孔アレイを形成可能であり，さらにその表面に種々の処理を施すことにより，微細なガラスチューブアレイや金属ニードルアレイを形成できることを示した．</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 81 (5), 406-409, 2012-05-10

    公益社団法人 応用物理学会

参考文献 (30)*注記

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