レプリカ法によるガラス微小穴内部形状の間接測定

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書誌事項

タイトル別名
  • Measurement of inner geometry of fine glass hole by indirect replica method
  • 2<SUP>nd</SUP> Report: Comparison to direct measurement of cross-sectional inner glass shape along the longitudinal axis
  • 第２報：縦軸切断面直接測定との比較

抄録

<p>本論文では，ガラス微小穴内部の縦軸方向の形状測定について，内部形状を転写したレプリカを間接測定する方法と，ガラス穴を切断しその断面を露出させてガラスを直接測定する方法との比較を述べる．断面周方向の形状測定は第1報で報告している．実験は，まず初めに厚さ4 mmのガラス板に超音波援用研削穴加工で直径1 mmの通り穴をあけた．次にこのガラス穴のレプリカを作成し，その外側形状を縦軸方向に沿って2種類のレ-ザ顕微鏡で測定した．その後，このガラス穴を縦軸方向に切断し，穴底部を接触式測定機およびレ-ザ顕微鏡で測定した．2種類の測定法を2種類の測定機で実行し4通りの形状デ-タ得た．これを解析し，レプリカの転写率を計算して第1報の結果と比較、考察した．その結果，レプリカ法は微小ガラス穴内部の縦軸方向の測定に有用であるとの結論を得た．</p>

収録刊行物

  • 砥粒加工学会誌

    砥粒加工学会誌 63 (5), 245-251, 2018-05-01

    社団法人 砥粒加工学会

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282752357586816
  • NII論文ID
    130007740355
  • DOI
    10.11420/jsat.63.245
  • ISSN
    18807534
    09142703
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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