ミリバブルを含有したスラリーのラップ定盤上でのスラリー挙動

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タイトル別名
  • Actions of slurry containing milli-bubbles on lapping plate
  • ミリバブル オ ガンユウ シタ スラリー ノ ラップ ジョウバン ジョウ デ ノ スラリー キョドウ

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抄録

ラッピング加工では定盤上に供給されるスラリーの挙動によって,ウェーハの寸法精度や研磨能率が影響される.しかしながら,加工部でのスラリーの挙動は上定盤があるために見ることができず,現場作業者の経験に頼ってきた.そこで,本研究では4wayラップ盤の上定盤をスラリー供給用の穴を設けたアクリル板で代替し,加工部を可視化した.そして,その穴からスラリーを溝無し定盤上に供給し,定盤上でのスラリー挙動を明らかにした.また,太さの異なる3種類のチューブを組み合わせて,スラリーに気泡を混入できる供給方法を考案し,定盤上で広がるスラリーに数mmサイズの気泡を含有させることができるようにした.その結果,気泡を含有したスラリーは通常のスラリーに比して2倍弱程度まで定盤上で広がることを明らかとした.また,スラリー中の気泡は定盤とウェーハ間には進入できないため,研磨能率には影響を与えない可能性を示した.

収録刊行物

  • 砥粒加工学会誌

    砥粒加工学会誌 62 (5), 258-263, 2018-05-01

    社団法人 砥粒加工学会

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