書誌事項
- タイトル別名
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- Actions of slurry containing milli-bubbles on lapping plate
- ミリバブル オ ガンユウ シタ スラリー ノ ラップ ジョウバン ジョウ デ ノ スラリー キョドウ
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抄録
ラッピング加工では定盤上に供給されるスラリーの挙動によって,ウェーハの寸法精度や研磨能率が影響される.しかしながら,加工部でのスラリーの挙動は上定盤があるために見ることができず,現場作業者の経験に頼ってきた.そこで,本研究では4wayラップ盤の上定盤をスラリー供給用の穴を設けたアクリル板で代替し,加工部を可視化した.そして,その穴からスラリーを溝無し定盤上に供給し,定盤上でのスラリー挙動を明らかにした.また,太さの異なる3種類のチューブを組み合わせて,スラリーに気泡を混入できる供給方法を考案し,定盤上で広がるスラリーに数mmサイズの気泡を含有させることができるようにした.その結果,気泡を含有したスラリーは通常のスラリーに比して2倍弱程度まで定盤上で広がることを明らかとした.また,スラリー中の気泡は定盤とウェーハ間には進入できないため,研磨能率には影響を与えない可能性を示した.
収録刊行物
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- 砥粒加工学会誌
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砥粒加工学会誌 62 (5), 258-263, 2018-05-01
社団法人 砥粒加工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282763062193408
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- NII論文ID
- 40021566216
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- NII書誌ID
- AN10192823
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- ISSN
- 18807534
- 09142703
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- NDL書誌ID
- 029044683
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可