P2-C-17 MEMS技術による機能センサの作製(バルク波・表面波デバイス,ポスターセッション2(概要講演))
書誌事項
- タイトル別名
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- P2-C-17 Fabrication of Functional Sensor using MEMS technology
収録刊行物
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
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超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集 24 (0), 151-152, 2003-11-12
特定非営利活動法人 超音波エレクトロニクス協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282763069629824
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- NII論文ID
- 110007458158
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- ISSN
- 24331910
- 13488236
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles