X線モノクロメータ用Ge単結晶に対する大気圧プラズマを用いた無歪みエッチングの加工特性評価
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- Morioka Yuki
- Osaka university
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- HIrano Takashi
- Osaka university
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- Matsumura Syoutarou
- Osaka university
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- Osaka Taito
- RIKEN SPring-8 center
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- Sano Yasuhisa
- Osaka university
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- Yabashi Makina
- RIKEN SPring-8 center
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- Yamauchi Kazuto
- Osaka university
Abstract
<p>SPring-8のような大型放射光施設では,X線のバンドパスフィルターとして主にSi結晶モノクロメータが利用されている.一方,GeはSiと比較して格子定数が大きく,(111)面によるX線回折のエネルギー幅が約2.5倍であるため,より高強度な準単色X線が利用可能になる.そこで,大気圧プラズマを用いた無歪みエッチングのGe結晶に対する加工特性を評価し,実用に足る高品質X線反射面の形成に向けた実現可能性を検討した.</p>
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2018A (0), 667-667, 2018-08-20
The Japan Society for Precision Engineering
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282763101375488
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- NII Article ID
- 130007602882
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed