スリットノズルを用いた加湿と乾燥によるインクジェット塗布膜の形状再調整プロセス

DOI
  • 近藤 弘康
    東芝マテリアル　ファインセラミックス事業開発担当
  • 佐藤 強
    東芝　生産技術センター
  • 石川 博康
    芝浦工大　大学院 理工学研究科 機能制御システム専攻

抄録

<p>大面積基板上のインクジェット塗布膜の形状を均一化するための新しいシステムを開発した。まず、塗布したインクを真空乾燥し、幅の揃ったリング形状の膜を形成する。次に、スリットノズルからライン状に吹き出る加湿空気によって幅を維持しながら膜を溶解し、他方のスリットノズルから吹き出るN2によって溶解した膜を再乾燥することで断面形状を調整する。その結果、基板面内で同一の幅を有する均一な断面形状の膜が得られた。</p>

収録刊行物

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282763102027136
  • NII論文ID
    130007602227
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2018a.0_702
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

問題の指摘

ページトップへ