光リソグラフィの解像度の限界解像度を超えるナノインプリント技術開発

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  • Gravure & Interview 精密工学の最前線 光リソグラフィの解像度の限界解像度を超えるナノインプリント技術開発 : キオクシア株式会社
  • Gravure & Interview セイミツ コウガク ノ サイゼンセン ヒカリ リソグラフィ ノ カイゾウド ノ ゲンカイ カイゾウド オ コエル ナノインプリント ギジュツ カイハツ : キオクシア カブシキ ガイシャ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 86 (4), 239-242, 2020-04-05

    公益社団法人 精密工学会

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