Formation of nano grooves on Si surfaces using self-assembled Ag nanowires as a template

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  • 自己組織的に形成したAgナノワイヤをテンプレートとしたSi表面上へのナノ溝形成

Abstract

<p>我々は、異なる二種類のウェットエッチングを複合的に用い、Si表面にナノメートル幅の溝構造を自己組織的に作製し、隣り合うテラス部を分離することを目的とした研究を進めている。具体的には、まず、微傾斜角を有するSi (111)表面に異方性エッチングを施して、テラスと原子ステップから成るステップ／テラス構造を作製する。次に、テラスの端部（エッジ部）へ自己組織的にAg原子を吸着させる。続いて、形成したAgナノワイヤをテンプレートとして、金属アシストエッチングを施し、Siウエハの全域で、平行・並列型の溝構造を形成する。本研究では、提案する上記のウェットシーケンスにおける、各プロセス後のSi表面の構造を原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscopy : AFM)により、ナノスケール領域で調査した結果について報告する。</p>

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Keywords

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  • CRID
    1390289254684763520
  • NII Article ID
    130008084249
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2021s.0_836
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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