金ナノ粒子プラズモンによるシリコンの低ダメージラジカル酸化
書誌事項
- タイトル別名
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- Low damage radical oxidation of gold nanoparticle plasmon
抄録
<p>金ナノ粒子のプラズモンが近年注目されている。我々は金ナノ粒子のプラズモンを応用し、イオン衝撃によるプラズマ照射表面へのダメージの低減と良質な極薄膜形成への活用を図ってきた。今回は、シリコンの室温でのラジカル酸化に対する効果を調べた。</p>
収録刊行物
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- 日本表面真空学会学術講演会要旨集
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日本表面真空学会学術講演会要旨集 2021 (0), 2Ca08-, 2021
公益社団法人 日本表面真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390290493077713152
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- NII論文ID
- 130008134121
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- ISSN
- 24348589
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可