金ナノ粒子プラズモンによるシリコンの低ダメージラジカル酸化

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タイトル別名
  • Low damage radical oxidation of gold nanoparticle plasmon

抄録

<p>金ナノ粒子のプラズモンが近年注目されている。我々は金ナノ粒子のプラズモンを応用し、イオン衝撃によるプラズマ照射表面へのダメージの低減と良質な極薄膜形成への活用を図ってきた。今回は、シリコンの室温でのラジカル酸化に対する効果を調べた。</p>

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390290493077713152
  • NII論文ID
    130008134121
  • DOI
    10.14886/jvss.2021.0_2ca08
  • ISSN
    24348589
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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