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AR-XPSを用いたAlScNの化学結合状態の評価
DOI
辻口 良太
都市大院理工
蔡 松霖
東工大
角嶋 邦之
東工大
野平 博司
都市大
書誌事項
タイトル別名
Evaluation of chemical bonding state of AlScN using AR-XPS
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.2 (0), 885-885, 2020-08-26
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
8p-Z17-2
薄膜・表面
強誘電体薄膜
強誘電体・高誘電率薄膜
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390291932641349760
DOI
10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_885
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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