Performance Comparison between Atomic-layer-deposited Al2O3/HfO2 Nanolaminate and Parylene C for Implantable Devices with High Step Coverage Using Accelerated Life Testing
収録刊行物
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- Sensors and Materials
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Sensors and Materials 34 (4), 1577-, 2022-04-26
株式会社ミュー
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390291932641853312
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- DOI
- 10.18494/sam3727
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- ISSN
- 24350869
- 09144935
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- 本文言語コード
- en
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- データソース種別
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- JaLC
- Crossref