ミニマルファブプロセスによるダイヤモンドSAWデバイスの作製(3)
書誌事項
- タイトル別名
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- Fabrication of SAW resonators on single-crystal diamonds using Minimal-Fab process III
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.1 (0), 2659-2659, 2020-02-28
公益社団法人 応用物理学会