繰り返し液相堆積SrTiO<sub>3</sub>薄膜の誘電率向上の検討
書誌事項
- タイトル別名
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- Improvement in dielectric constant of SrTiO<sub>3</sub> thin film formed by multi-step liquid phase deposition
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.1 (0), 1387-1387, 2020-02-28
公益社団法人 応用物理学会