スパッタリング法によるY-HZO強誘電体厚膜の室温製膜とその電気特性および圧電特性評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Preparation of Y doped HZO ferroelectric thick films at room temperature by the sputtering method and their electrical and piezoelectric properties
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 1191-1191, 2021-02-26
公益社団法人 応用物理学会