ミニマルRFマグネトロンスパッタリング装置によるAlN薄膜の形成(2)
書誌事項
- タイトル別名
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- Deposition of AlN thin film using minimal RF-sputtering machine
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 2312-2312, 2021-02-26
公益社団法人 応用物理学会