ScAlN薄膜/回転Yカット水晶基板上LSAWにおける最適構造探索
書誌事項
- タイトル別名
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- Analysis of LSAW propagation properties on ScAlN film/rotated Y-cut quartz substrate
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 369-369, 2019-09-04
公益社団法人 応用物理学会