rfスパッタリングによるMgF<sub>2</sub>薄膜の作製と誘電関数解析

DOI

小倉航平

青学大理工
柏木誠

青学大理工
賈軍軍

早大国際理工C
待永広宣

日東電工
重里有三

青学大理工

書誌事項

タイトル別名

Dielectric constants of MgF<sub>2</sub> films deposited by rf sputtering

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 1605-1605, 2019-09-04

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390292815284579456
DOI

10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_1605
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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