ScAlN薄膜/水晶基板上縦型リーキーSAWの伝搬減衰に速い横波，遅い横波成分が及ぼす影響の理論的検討
書誌事項
- タイトル別名
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- Effect of fast- and slow-shear wave components on attenuation of LLSAW propagating on ScAlN film/quartz
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.1 (0), 408-408, 2019-02-25
公益社団法人 応用物理学会