Si-IGBTプロセスによるFZ-Siの少数キャリアライフタイムへの影響評価-II-
書誌事項
- タイトル別名
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- Second-Phase Evaluation of Minority Carrier Lifetime in FZ-Si Affected by Si-IGBT Process
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 (0), 2888-2888, 2018-09-05
公益社団法人 応用物理学会