Si-IGBTプロセスによるFZ-Siの少数キャリアライフタイムへの影響評価
書誌事項
- タイトル別名
-
- Evaluation of Minority Carrier Lifetime in FZ-Si Affected by Si-IGBT Process
収録刊行物
-
- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
-
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.1 (0), 3140-3140, 2018-03-05
公益社団法人 応用物理学会