パルススパッタ堆積法による高Al組成AlGaN薄膜成長

DOI

櫻井悠也

東大生研
上野耕平

東大生研
小林篤

東大生研
藤岡洋

東大生研 JST-ACCEL

書誌事項

タイトル別名

Growth of AlGaN films with high Al mole fractions by pulsed sputtering

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.1 (0), 3579-3579, 2018-03-05

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390293655509377792
DOI

10.11470/jsapmeeting.2018.1.0_3579
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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