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遷移金属薄膜に対する液体クラスターイオンビームの照射効果
DOI
清水 大貴
京大光電子理工セ
山本 大介
京大光電子理工セ
竹内 光明
京大光電子理工セ
龍頭 啓充
京大光電子理工セ
書誌事項
タイトル別名
Effects of Liquid Cluster Ion Beam on Transition Metal Thin Films
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 1660-1660, 2017-08-25
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
6p-S41-6
ビーム応用
イオンビーム一般
イオンビーム加工
クラスターイオンビーム
遷移金属薄膜
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390293943108869504
DOI
10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_1660
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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