p-GaN表面への準大気圧プラズマ照射の効果
書誌事項
- タイトル別名
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- Effect of quasi-atmospheric pressure plasma irradiation on p-GaN surface
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 3423-3423, 2017-08-25
公益社団法人 応用物理学会