HMDS導入CVD樟脳カーボン薄膜の原料Si/C比依存性
書誌事項
- タイトル別名
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- Source Si/C ratio dependence of HMDS-introduced CVD camphoric carbon thin films
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 (0), 1294-1294, 2016-09-01
公益社団法人 応用物理学会