4wayラップ盤における定盤の変化とウェーハ挙動の関係に関する研究

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抄録

<p>4wayラップ盤の加工ではウェーハを上定盤と下定盤で挟んで加工するため,加工中にウェーハを観察することが困難である.そのため,ウェーハ挙動が加工影響について明らかになっていない部分が多い.そこで本研究では,アクリル板を上定盤の代わりに使用することでウェーハを可視化し,下定盤の回転速度と上定盤の溝を変化させて観察を行った.そして,下定盤の回転速度と上定盤の溝がウェーハ挙動に与える影響について検討した.</p>

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390295259235431296
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2022a.0_392
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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