4wayラップ盤における定盤の変化とウェーハ挙動の関係に関する研究
説明
<p>4wayラップ盤の加工ではウェーハを上定盤と下定盤で挟んで加工するため,加工中にウェーハを観察することが困難である.そのため,ウェーハ挙動が加工影響について明らかになっていない部分が多い.そこで本研究では,アクリル板を上定盤の代わりに使用することでウェーハを可視化し,下定盤の回転速度と上定盤の溝を変化させて観察を行った.そして,下定盤の回転速度と上定盤の溝がウェーハ挙動に与える影響について検討した.</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2022A (0), 392-393, 2022-08-25
公益社団法人 精密工学会