バイオテンプレート極限加工技術を用いたSiナノピラーの作製と熱伝導率の測定
書誌事項
- タイトル別名
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- Fabrication of Si nano pillar using Bio-template Ultimate Top-down Processes and Its Thermal conductivity
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.1 (0), 1844-1844, 2016-03-03
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390295447133970432
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- ISSN
- 24367613
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
