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イオン液体イオンビームにより形成したC-N薄膜の基板温度依存性
DOI
星出 優輝
京大工
竹内 光明
京大工
龍頭 啓允
京大工
高岡 義寛
京大工
書誌事項
タイトル別名
Substrate Temperature Dependence of C-N Thin Firm Deposited by Ionic Liquid Ion Beam
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.2 (0), 1544-1544, 2015-08-31
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
14p-4E-2
ビーム応用
イオンビーム一般
イオンビーム蒸着
イオンビーム
イオン液体
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390295823371492480
DOI
10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_1544
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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