その場観察X回折法によるGaInN超格子の臨界膜厚のバリア層膜厚依存性評価
書誌事項
- タイトル別名
-
- Barrier layer thickness dependence in GaInN/GaN superlattice characterized by<i> in situ</i> X-ray diffraction measurement
収録刊行物
-
- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
-
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.2 (0), 3112-3112, 2015-08-31
公益社団法人 応用物理学会