次世代High-k メタルゲートプロセス
書誌事項
- タイトル別名
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- High-k Metal Gate Process Technology and Challenges for 10 nm and Beyond
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 203-203, 2015-02-26
公益社団法人 応用物理学会