IBEを用いたfinミリングによるFinFETの特性ばらつき改善
書誌事項
- タイトル別名
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- Variability suppression of FinFETs by milling fin-channel using IBE
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 2874-2874, 2015-02-26
公益社団法人 応用物理学会