ミニマル抵抗加熱炉で形成した熱酸化膜の電気的特性（Ⅲ）
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- 中戸 克彦
- ミニマルファブ技術研究組合
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- 居村 史人
- ミニマルファブ技術研究組合
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- 浅野 均
- ミニマルファブ技術研究組合
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- 鈴木 真之佑
- ミニマルファブ技術研究組合 光洋サーモシステム
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- 松田 祥吾
- ミニマルファブ技術研究組合 光洋サーモシステム
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- 柳沼 綾美
- ミニマルファブ技術研究組合 光洋サーモシステム
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- 森川 清彦
- ミニマルファブ技術研究組合 光洋サーモシステム
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- 服部 昌
- ミニマルファブ技術研究組合 光洋サーモシステム
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- 池田 伸一
- ミニマルファブ技術研究組合 産業技術総合研究所
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- クンプアン ソマワン
- ミニマルファブ技術研究組合 産業技術総合研究所
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- 原 史朗
- ミニマルファブ技術研究組合 産業技術総合研究所
書誌事項
- タイトル別名
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- Electric properties of thermal oxide formed by minimal resistance furnace(III)
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 2886-2886, 2015-02-26
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390296066524420992
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- ISSN
- 24367613
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC