焼結法による炭化タンタル被覆黒鉛材 ～バルク成長・エピ成膜用の高耐久・高信頼性保護コーティング～
書誌事項
- タイトル別名
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- Sintered Tantalum Carbide Coatings on Graphite Substrates: Highly-Reliable Protective Coatings for Bulk and Epitaxial Film Growth
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 3370-3370, 2015-02-26
公益社団法人 応用物理学会
