立方晶窒化ホウ素(c-BN)薄膜のMBE成長におけるイオン照射の効果

DOI

平間一行

NTT物性研
谷保芳孝

NTT物性研
狩元慎一

NTT物性研
山本秀樹

NTT物性研

書誌事項

タイトル別名

Effect of ion irradiation for MBE growth of cubic boron nitride (c-BN) thin films

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 3289-3289, 2015-02-26

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390296066524868096
DOI

10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_3289
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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