書誌事項
- タイトル別名
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- EVALUATION OF DEFECTS IN SINGLE CRYSTAL BY THE LIGHT SCATTERING TOMOGRAPHY
- ヒカリ サンラン トモグラフィ ニ ヨル タンケッショウ ノ ケッカン ヒョウカ
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説明
Defects in several compound semiconducting single crystals are evaluated by using the light scattering tomography. The dislocations in ZnSe and ZnO single crystals are observed by decorating them with precipitate, which were generated by heat treatment. We obtain three dimensional views of linear and curved dislocations in ZnSe crystals. Linear dislocations are detected for the first time by several annealing. Micropipes along growth direction are also found by this method.
収録刊行物
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- 福井工業大学研究紀要. 第一部
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福井工業大学研究紀要. 第一部 (37), 25-32, 2007-05-31
福井工業大学
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390296288051658752
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- NII論文ID
- 110006459227
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- NII書誌ID
- AN10503694
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- ISSN
- 02868571
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- NDL書誌ID
- 8875681
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- IRDB
- NDL
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用可