シリコン窒化膜の常磁性欠陥に対する熱処理の効果
-
- ナウシャド シャクール
- 東海大院
-
- 石川 貢吉
- 東海大院
-
- 小林 清輝
- 東海大院
収録刊行物
-
- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
-
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2013.1 (0), 2635-2635, 2013-03-11
公益社団法人 応用物理学会