犠牲酸化処理が熱酸化SiO<sub>2</sub>/4H-SiC(0001)構造に及ぼす影響

DOI

細井卓治

阪大院工
上西悠介

阪大院工
箕谷周平

ローム
中野佑紀

ローム
中村孝

ローム
志村考功

阪大院工
渡部平司

阪大院工

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2013.1 (0), 3281-3281, 2013-03-11

公益社団法人応用物理学会

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CRID

1390297372148945152
DOI

10.11470/jsapmeeting.2013.1.0_3281
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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