酸化物基板の最表面構造: その平坦化プロセス依存性

DOI

清水亮太

東北大WPI-AIMR
岩谷克也

東北大WPI-AIMR
大澤健男

東北大WPI-AIMR
白木將

東北大WPI-AIMR
一杉太郎

東北大WPI-AIMR JSTさきがけ

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.2 (0), 1347-1347, 2012-08-27

公益社団法人応用物理学会

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CRID

1390297681110796800
DOI

10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_1347
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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