放射光エッチングによる短ミリ波帯PTFE基板集積導波管横断回路の試作

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Trial Fabrication of PTFE Substrate Integrated Waveguide Intersection at Short Millimeter Wave Frequencies by SR Etching

放射光エッチングによりPTFEの直接加工を行い，表面に金属をスパッタリング成膜することで基板集積導波管(SIW)を形成するプロセスが報告されている．本論文では，同プロセスで180 GHz帯PTFE SIW横断回路(0 dBカプラ)を試作し，その周波数特性を評価している．