ポリイミド基板への酸素クラスターイオンビーム照射効果
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2011.1 (0), 1745-1745, 2011-03-09
公益社団法人 応用物理学会
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