ターボ分子ポンプに対するドライ真空ポンプの役割

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タイトル別名
  • Role of Dry Vacuum Pumps as a Backing Pump of Turbomolecular Pumps

抄録

<p>The operating pressure of a turbomolecular pump is several hundred Pa or less due to its pumping principle. Therefore, a dry vacuum pump is essential as a backing pump to achieve an oil-free environment. This report explains how dry vacuum pumps affect the pumping performance and reliability of turbomolecular pumps.</p>

収録刊行物

  • 表面と真空

    表面と真空 67 (4), 182-185, 2024-04-10

    公益社団法人 日本表面真空学会

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