高移動度3C-SiC n-MOSFETの作製と高温動作実証
書誌事項
- タイトル別名
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- High Mobility 3C-SiC n-MOSFET and Demonstration of High Temperature Operation
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2022.1 (0), 2434-2434, 2022-02-25
公益社団法人 応用物理学会
