光反応プロセスによるフレキシブル電子セラミックス膜の開発と電子部品応用

  • 土屋 哲男
    国立研究開発法人産業技術総合研究所先進コーティング技術研究センター
  • 鵜澤 裕子
    国立研究開発法人産業技術総合研究所先進コーティング技術研究センター
  • 中島 智彦
    国立研究開発法人産業技術総合研究所先進コーティング技術研究センター
  • 山口 巌
    国立研究開発法人産業技術総合研究所先進コーティング技術研究センター
  • 野本 淳一
    国立研究開発法人産業技術総合研究所先進コーティング技術研究センター

書誌事項

タイトル別名
  • Development of Flexible Electro Ceramics Films Prepared by Photo-Assisted Metal Organic Deposition (MOD) and its Electrical Component Application
  • ヒカリ ハンノウ プロセス ニ ヨル フレキシブル デンシ セラミックスマク ノ カイハツ ト デンシ ブヒン オウヨウ

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